廣東凡林裝備科技有限公司
主營(yíng)：玻璃蓋板清洗機(jī),車(chē)載玻璃清洗機(jī),光學(xué)鏡頭清洗機(jī),晶圓清洗機(jī),硅片清洗機(jī),UTG玻璃清洗機(jī),藍(lán)玻璃清洗機(jī),藍(lán)寶石清洗機(jī),碳化硅清洗機(jī),RCA清洗機(jī),IMEC清洗機(jī)
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半導(dǎo)體晶圓濕法清洗機(jī)IMEC清洗機(jī)型號(hào)：FLS-7000/8000/9000系列 設(shè)備用途：晶圓化學(xué)腐蝕和清洗 1.技術(shù)參數(shù)： 可處理晶圓材料：硅、砷化鎵、氮化鎵、磷化銦、 碳化硅、鈮酸鋰、鉭酸鋰等 產(chǎn)品尺寸：2~12寸（25片/籃或50片/籃 ）2.清除物：金屬、有機(jī)物、顆粒、氧化膜 等2.控制方式： PLC HMI 3.信息交互： 數(shù)據(jù)讀取，主動(dòng)傳送MES。 根據(jù)具體的加工工序進(jìn)行工藝設(shè)置。 4.工序適用：光刻
2023-05-29 0
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