深圳新益昌海威真空設(shè)備有限公司是上市公司深圳市新益昌科技股份有限公司投資成立的子公司;海威主要從事新能源/新材料、光電/半導(dǎo)體芯片、航空航天等行業(yè)的核心真空裝備的研發(fā)和制造，致力于為客戶提供高品質(zhì)的真空設(shè)備和服務(wù)。

海威真空團隊在半導(dǎo)體、平板顯示、光伏、鋰電池等行業(yè)的薄膜沉積領(lǐng)域有多年的技術(shù)開發(fā)和成功案例，積累了豐富的市場、技術(shù)和人才資源。

核心產(chǎn)品和解決方案包括:XFD-PVS薄膜沉積綜合平臺、外延生長設(shè)備、卷繞鍍膜機、第三代半導(dǎo)體長晶爐、精密濺射系統(tǒng)、精密光學(xué)蒸鍍系統(tǒng)、連續(xù)鍍膜線、PECVD/ALD/MOCVD/MBE等，廣泛應(yīng)用于消費電子、鋰電、光伏和半導(dǎo)體領(lǐng)域。

海威母公司新益昌成立于2006年，主要從事LED、電容器、半導(dǎo)體、鋰電池等行業(yè)智能制造裝備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，為客戶實現(xiàn)智能制造提供先進、穩(wěn)定的裝備及解決方案。