真空傳感器是察覺吸著時的真空壓力，以數(shù)值表示真空度， 在設(shè)定了的真空度時發(fā)出輸出(電氣信號)的元件。測量壓力(正壓～負(fù)壓)的傳感器稱為「壓力傳感器」，其中 測真空壓用的稱為「真空傳感器」或「真空開關(guān)」。通常，力度強吸盤真空傳感器(真空開關(guān))使用于確認(rèn)是否吸附。SHIAN的真空傳感器(壓力傳感器)大體分為以下２種。①機械式通過壓力活塞等操縱開關(guān)(微型開關(guān)等)(使開關(guān)ON)的方式。 ※圖２０②電子式用叫「膈膜」的電子零部件檢出壓力，電子電路輸出(電氣信號)的方式。