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超薄玻璃
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超薄電子玻璃是指厚度在0.1~1.1mm范圍內的的電子玻璃。 電子玻璃系指可應用于電子、微電子、光電子領域的一類高技術產品,主要用于制作集成電路以及具有光電、熱電、聲光、磁光等功能元器件的玻璃材料。 基板玻璃是目前在微電子、光電子和新能源等高新技術中應用最廣、發(fā)展最快的特種玻璃之一。主要包括液晶和太陽能電池用基板;存儲器(磁盤和光盤)用基板;光掩膜基板(又稱制版玻璃),這是集成電路制作過程中制備光刻用的光掩膜板。現代科學技術的發(fā)展離不開這些電子玻璃。
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