2007-08-07近日,中科院上海光機(jī)所周常河課題組利用高密度等離子體刻蝕設(shè)備、半導(dǎo)體光刻工藝技術(shù)和激光全息技術(shù),發(fā)展出石英玻璃深刻蝕技術(shù),成功地在石英玻璃基底上加工出優(yōu)化高層度的亞波長光柵,實(shí)驗(yàn)證明其具有很高的偏振隔離度和衍射效率,是非常優(yōu)良偏振分光器件。該器件具有使用壽命長,不易霉變,穩(wěn)定、可靠,熱穩(wěn)定性好等顯著優(yōu)點(diǎn)。本項(xiàng)工作...[詳細(xì)]