2011-07-01該項目開發(fā)的技術可廣泛應用于微電子化工材料分離與純化，尤其是超大規(guī)模集成電路（0.09～0.2μm技術）用超純電子化學品。超凈高純雙氧水作為電子工業(yè)硅片清洗劑、印刷電路板的刻蝕劑，是電子工業(yè)不可缺少的精細化學品。目前，國內(nèi)集成電路生產(chǎn)的電子級雙氧水無論質(zhì)量和數(shù)量都不能滿足電子工業(yè)的需要，主要依賴進口。我公司是國內(nèi)...[詳細]